作为检测领域中比较常见的一种设备，ICP-MS其实在应用的时候采用的是等离子体，除了进行方位和线圈的使用之外，与发射光谱中的各种设置情况都有十分相似的地方，在使用这种设备的时候，能够有效地提升分析的结果，它主要借助的就是质量分析器以及离子检测器等功能完成相应的分析和检测的。在日常研发的过程中，为了能够有效地进行质量的分析，通过质量分析器采用的都是四极杆质谱计，应用这种模式能够高效的提升分辨率，同时有效地实现双聚焦扇形磁场，并且对这些磁场进行测量，能够对飞行的质谱进行相应的测量等等。不过在使用的时候它的灵敏度是特别高的，而且检测的速度很快，能够在几秒钟完成几十种元素的检测，同时它的操作方式简单，不会存在太多的干扰，适用的范围也是比较广的，能够应用于多种元素的分析检测之中。
icp-aes是一种可以对定性定量进行有效检测分析的仪器，在使用这种仪器的时候，能帮助用户实现一次性的镜样多元素的同时分析，利用分析软件和数据处理系统，是非常方便操作的，同时实现的功能很强大。这种设备的控制以及数据处理系统是比较全面的，可以通过中文软件或者windows的界面系统进行操作，还可以对分析条件分析数据文件进行编辑，能够对定量分析10项定量分析必备的一些测量条件的要求。在使用这种检测仪器的时候，对创建的定量分析和定量分析必备的测量条件能有效的界定，可以处理确定从各种分析方法中获得的相关数据，它主要就是应用于一些微量元素的检测，检测标准是比较高的，精确度也是有保障的。